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学堂班系列讲座:“Towards Energy Efficient Information Processing withIntelli...
Sculpting quantum phases of matter with measurements
吉林大学化学学院-清华大学化学系双边学术研讨会(2024)
纳米结构工程与纳米压印
报告题目:
利用针尖技术精准实现单纳米器件的制作和应用创新
 报告人:
Prof. Rangelow 朗格诺 教授
德国伊莫瑙工业大学纳米电子学学院院长,百及科技(深圳)有限公司首席科学家
报告时间:
2018-11-12 10:30
报告地点:
物理系三楼报告厅C302
主办单位:
物理系
  简介:

朗格诺教授,1950年生,德国伊尔默瑙工业大学微纳米电子学学院院长,教授,博士生导师。微纳米技术领域著名科学家,是著名欧盟量子宣言计划的主要参与者。

1977年毕业于波兰弗罗茨瓦夫理工大学,并于1982年获博士学位。1982至1984年在德国明斯特大学和德国弗朗霍夫微系统技术研究所从事博士后研究。1997年在波兰弗罗茨瓦夫理工大学取得教授资格。1998年到2005年间任德国卡塞尔大学微系统技术与分析学院高级科学家。2005年起任德国伊莫瑙工业大学教授,同时出任伊莫瑙工业大学微纳米电子学学院院长。至今在加州大学伯克利分校、维也纳技术大学、新加坡大学等多所国际知名大学担任客座教授。

朗格诺教授长年致力于主动式悬臂探针的研发和改进,在微纳结构制备和表征、微纳米电子学及单离子注入方面取得了众多国际领先的创新成果,在国内外知名学术刊物上发表论文350余篇,文章被引用近3000次;国际会议应邀做大会/主题/特邀报告110余次,拥有发明专利60余项;从欧盟、德国科技部和德国科学基金会等机构累计获得大量科研经费资助;积极同国际知名大学的科研课题组(如伯克利、圣巴巴拉、麻省理工、牛津、帝国理工等)以及国际知名高科技企业(如德国英飞凌、卡尔蔡司公司等)开展联合研发项目。

2018年同另一个合伙人和发明人留德学人周向前博士在深圳共同成立百及科技(深圳)有限公司,致力于多针尖光刻技术,单离子精准注入技术的产业化和在深圳市的支持下从事国际引领水平的研发工作。

报告摘要:

朗格诺教授近些年致力于研究微纳米结构的创新工艺和设备开发,结合针尖光刻工艺和离子注入技术用来制备纳米级功能器件。最终提供在半导体材料表面制造尺寸小于现有技术加工极限的高性能纳米器件的微纳米加工系统,为研制室温单电子器件(2纳米以下结构)、纳米光学微透镜、固态量子计算机等新原理器件提供稳定、精确、高效的制造方法,以此突破全球目前微纳米制造以及半导体器件领域的瓶颈。

朗格诺教授团队最新的科研成果是多针尖并行阵列技术,其中每一个探针可以同时单独操作,显著地提高了对微纳米结构表征及制备的范围和速度。

2017年朗格诺教授与伦敦帝国理工学院的合作伙伴一起在针尖光刻技术制备量子器件领域取得了重大进展,成功研发了尺寸小于2nm的能在室温下正常工作的单电子晶体管。单电子晶体管被公认为是制造下一代低功耗、高密度超大规模集成电路最有前景的纳米电子功能器件。

朗格诺教授另一项革命性的发明是单离子精准注入技术,能够在1纳米范围内精确有效控制注入杂质种类、数量和位置。有别于至今大量研究工作都是在做表面原子的搬运,定位和表面原子化学反应的原子和分子级层面的原位观察工作,朗格诺教授的单离子精准注入使得体内原子/离子的原子级精准植入和定位成为可能!使得制作体内原子级阵列结构和器件成为可能!悉尼新南威尔士大学量子计算和通信技术中心团队已经利用朗格诺教授团队研发的单离子精准注入工艺,在单原子层面制造出基于硅量子比特的量子逻辑门,首次使两个量子位间信息计算成为可能!

 

 

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