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报告题目:
微电子所学术报告系列第九期题目一：RF MEMS: From mocro scale to nanoscale,题目二：压电薄膜集成器件
　报告人:
 刘泽文,任天令
清华大学微电子所教授
报告时间:
 2010-12-23 13:30
报告地点:
 微电子所308会议室
主办单位:
 清华大学微电子所学术委员会
　　简介:
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