讲座摘要：聚对二甲苯（Parylene）是一种常见的可微加工聚合物材料：可以实现高性能的保形淀积，与硅基微机电系统技术相结合可以制备出多种具有优异隔离性能的微纳器件／系统；可以用于微通道内表面修饰，甚至可以在聚二甲基硅氧烷分子网络间隙内实现渗透淀积，从而获得表面改性的复合聚合物；而微小空隙亦可被用来调制Parylene的淀积，获得高可控的超薄Parylene薄膜，满足特定需求的微纳器件的制造。由于具有丰富的微纳加工方法，同时具有优异的隔离特性（热隔离、电隔离、水气隔离等），Parylene及Parylene MEMS将在广阔的微纳系统领域得到应用。

 

主讲人简介：王玮，北京大学教授，2005年毕业于清华大学航天航空学院，后加入北京大学微纳电子学研究院开展微纳加工技术、微纳流控器件以及面向临床应用微纳系统技术的相关研究。截止到目前，发表期刊、国际会议文章百余篇。