薛其坤，1963年生于山东，1984年毕业于山东大学光学系激光专业，1994年在中国科学院物理研究所获得博士学位。1992年至1999年先后在日本东北大学金属材料研究所和美国北卡莱罗纳州立大学物理系学习和工作。1999年至2007年任中国科学院物理研究所研究员，1999年至2005年任表面物理国家重点实验室主任。2005年起在清华大学物理系任教授，同年11月被增选中国科学院院士。2010年起任清华大学理学院院长、物理系主任，2011年起任低维量子物理国家重点实验室主任。2013年3月起任清华大学校长助理、科研院院长。他是Physics Review B、Applied Physics Letters、AIP Advances等国际期刊的编委，Nano Research和Surface Review & Letters的主编。