主讲人:王新昶,工学博士,上海交通大学副教授、博士生导师。主要从事金刚石材料制备、加工及应用研究,主持国家自然科学基金、上海市自然科学基金、军科委国防科技创新特区项目、广东省重点领域研发计划项目(交大方主持)等项目,入选上海市浦江人才计划。以第一或通讯作者发表SCI 论文40余篇,获发明专利授权五项。 
摘要:金刚石固有的刚性晶体结构可隔离和保护脆弱量子态免受随机扰动,允许在室温下改变和读取单个电子的量子态,室温下具有长的电子自旋弛豫时间和相干时间,因此高品级金刚石在量子传感、量子通讯、量子计算等前沿领域具有广阔应用前景,但是存在材料制备难、器件加工难的双重挑战,且材料制备、器件加工与量子性能需求间存在错综复杂的相互制约关系。 研究团队针对上述问题,自主研发了可满足高品级金刚石稳定制备的超高真空微波等离子体化学气相沉积设备及配套工艺,可综合考虑应用和加工过程需求,制备含特定微观缺陷的高品级金刚石;针对量子器件加工过程中不可或缺的机械抛光、化学机械抛光、等离子体加工、激光加工等工艺开展系统研究,以量子应用的“形”(几何形状、表面光洁度、微纳结构等)“性”(量子特性及其辅助性能,比如表面官能团种类及密度,位错等表面或亚表面缺陷,含氮缺陷的类型、位置、结构、密度和电荷态等)需求为出发点,协同考虑制备和加工对 “形”“性”的影响,协调分配制备和加工过程的任务目标,实现量子应用高品级金刚石制备与加工工艺的协同优化。
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