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报告题目:
集成电路系列学术邀请报告第04期——先进光刻技术介绍
报告人:
高伟民 博士
阿斯麦公司（ASML）中国区技术总监，浙江大学兼职教授，资深光刻技术专家
报告时间:
2023-09-14 10:00
报告地点:
清华大学FIT楼多功能厅
主办单位:
清华大学集成电路学院
简介:
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