现有纳米制造技术需要纳米特征尺寸的工具（切削刃厚度、锥尖尺寸、粒子束直径等）或模板作用于被加工对象方可实现。与实物工具相比，光子直接作为加工手段，具有可变形、无损耗等独特优势，但由光学衍射极限尺寸（可见光中心波长550纳米）定义的加工精度需要提升一个数量级才能满足“纳米”制备的需求。本报告介绍报告人团队利用飞秒激光进行光与物质相互作用非线性调控、实现亚10纳米分辨率三维加工的系列工作，涵盖从智能微纳机器人到光量子集成芯片等多个领域，由此制备的核心器件，已在国家重要工程中获得不可替代的应用。
报告人简介：孙洪波，激光精密制造专家。清华大学精密仪器系教授，教育部特聘教授、国家级人才基金和资助计划获得者、全国优博指导教师, IEEE/OSA/SPIE/ COS/CSOE Fellow。从事超快激光与物质相互作用物理与应用研究。在Science、Nature等高水平学术杂志发表论文500余篇，SCI引用30000余次，H因子90，系列工作为我国工业与国防紧迫需求提供解决方案，获2020年度国家自然科学奖二等奖（排名1）、2023年度创新争先奖。目前任Light Science &Applications杂志（IF=20.2）执行主编、PhotoniX杂志（IF=16.5）共主编、中国光学学会微纳光学专业委员会主任，中国感光学会激光精密成形专业委员会主任，历任国务院学位委员会学科评议组成员、自然科学基金重大项目负责人。 |
