近日，科技部委托材料领域专家咨询组对973计划项目“高性能电子产品设计制造精微化数字化新原理和新方法”进行了中期评估。

　　该项目于2003年12月立项，为973计划新增的综合交叉学科领域先进制造方向的首次批准项目。清华大学为依托单位，参加单位包括华中科技大学，中南大学，西安交通大学，哈尔滨工业大学，中科院微电子所，中科院电工技术研究所等。首席科学家是清华大学摩擦学国家实验室主任、长江学者特聘教授雒建斌。

　　项目针对先进电子制造中的关键科学问题，在超精表面制造与改性中的纳米粒子行为与分子迁移机制；复合能场作用下微互连界面的微结构演变规律；微压印成形的相变构型与保真转移；三维微结构高能束加工中纳米精度创成原理；纳米间隙中流体输运规律及承载原理；高速高精运动的生成与控制；电子制造中的混合约束数字建模与产品缺陷诊断机理等7个方面开展研究。

　　在项目中期总结会议上，专家组对项目的总体进展给予了高度评价：认为本项目启动快，基础条件建设迅速，部分课题已经取得了国际一流成果；同时对对部分课题的后三年研究计划提出了调整建议。（科研院供稿）