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报告题目:	微电子所学术报告系列第九期题目一：RF MEMS: From mocro scale to nanoscale,题目二：压电薄膜集成器件
报告人:	刘泽文,任天令
	清华大学微电子所教授
报告时间:	2010-12-23 13:30
报告地点:	微电子所308会议室
主办单位:	清华大学微电子所学术委员会
简介:

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