报告题目: |
“第五期清华机械论坛”学术报告——光刻机工件台纳米运动精度研究 |
报告人: |
朱煜教授 |
|
朱煜，清华大学机械工程系教授、机电工程研究所所长
|
报告时间: |
2014-08-29 09:30 |
报告地点: |
主楼接待厅 |
主办单位: |
机械系 |
简介: |
朱煜，清华大学教授、博士生导师，清华大学机械工程系机械电子工程研究所所长，研究领域为IC制造装备发展战略、超精密气浮/磁浮工件台机械设计理论与技术、超精密运动控制、测量理论与技术等。担任IC制造装备国家科技重大专项总体专家组专家、技术副总师，入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，其创建的“超精密机械与测控”团队入选首批科技部重大领域创新团队。清华机械工程学科IC装备学术带头人，机械工程学会高级会员。合著学术专著2部，发表论文150余篇（SCI/EI/ISTP三大索引收录129篇）。申请国家发明专利120余项（已授权50项，5项美国专利，18项PCT专利）。
|
|
